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紫外刻劃光柵母版及二代版衍射特性的模擬與分析（PDF）
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軟件大小： 233.00 KB 解壓密碼： 軟件評級： ★★★ 開 發 商： Frank 本月下載： 軟件類別： 國產軟件 軟件授權： 免費版 軟件語言： 英文 運行平臺： Win9x/NT/2000/XP/2003 更新時間： 2011年12月15日 -
內容介紹
運用微分理論對刻線密度為1200 lp／mm的紫外刻劃光柵母版及其二代復制版的衍射特性做了模擬，指出了二者之間存在的差異，并與測試結果做了對照。數值模擬表明，紫外刻劃光柵二代復制版的衍射特性與其母版略有不同，原因是光柵槽形發生了改變，分別給出了采用多項式擬合槽形函數和傅里葉級數擬合槽形函數的方法。此理論分析方法為澄清光柵復制工藝中的爭議完善翻版技術以及尋找提高紫外光柵衍射效率的途徑提供了很好的理論參考依據。
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